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        2019年10月31日第八届中国创新创业大赛——电子信息行业全国总决赛在深圳举行。中国创新创业大赛是由科技部、财政部、教育部、国家网信办和中华全国工商业联合会共同指导举办的一项以“科技创新,成就大业”为主题的全国性创业比赛。8年来,参加中国创新创业大赛的企业和团队累计达18万余家。本届大赛共有30287家企业参赛,其中电子信息行业有近7500家参赛企业,289家企业入围总决赛。江苏亚博体育苹果下载亚博体育app下载安卓有限公司的磁存储亚博电竞下载机项目代表江苏赛区电子信息企业参赛,经过层层的角逐选拔,最终亚博体育苹果下载_亚博体育app下载安卓_亚博电竞下载。
       江苏亚博体育苹果下载亚博体育app下载安卓有限公司的联合创始人、技术总监胡冬冬介绍,磁性随机存储器(MRAM)制造技术中,磁隧道结亚博电竞下载是非常关键的一道工艺。一方面,磁隧道结包含一系列复杂的纳米级厚度的(过渡)金属薄膜层和氧化物介质层,采用传统的CMOS工艺中的亚博电竞下载技术,生成的聚合物是非挥发性的,这些非挥发性衍生物会残留在相邻磁隧道结的侧壁,造成器件的失效,降低器件可靠性;另一方面,在亚博电竞下载过程中及亚博电竞下载后,如果磁隧道结的侧面暴露在空气中,会和空气中的湿气以及氧气发生反应,产生的反应层严重影响整个隧道结性能。
                                                                 
        亚博体育苹果下载亚博体育app下载安卓专利产品,专为亚博电竞下载过渡金属及非挥发性金属而研制,是用于磁性存储器MRAM及磁传感器的研发及生产的专用设备。该设备集成了亚博电竞下载、原位保护等模块,通过配合使用亚博电竞下载模块,可避免非挥发性亚博电竞下载残留物,并精确去除在残留物去除工艺中产生的等离子损失层。原位保护模块可以保证磁隧道结在亚博电竞下载之后、在真空环境下即覆盖原位保护层,从而有效的隔离空气,解决了侧壁金属氧化以及水化导致的器件可靠性问题。
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