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【产品介绍】

专为0.11微米~0.5微米8英寸IC制造中后道金属AlW亚博电竞下载工艺而研发的设备。 配备了专用的亚博电竞下载腔室和去胶腔室,在保证亚博电竞下载形貌的前提下,最大程度减少亚博电竞下载后Al的后腐蚀,为IC制造中AlW亚博电竞下载提供优质的解决方案。

【产品特点】

  l 由传输模块、亚博电竞下载模块、去胶模块、冷却模块等组成

  l 亚博电竞下载材料包括:AlW

  l 亚博电竞下载腔室采用6061进口航空铝材,暴露在等离子体中的表面100%硬质阳极化处理

  l 真空获得系统由耐腐蚀高端干泵、分子泵等组成

  l ESC具备He背冷和温度控制功能,精确控制工艺温度

  l 采用进口射频电源,配有自动匹配器,激励射频电源采用平板对称双螺旋结构

  l 配备专用的气路系统,配有进口高精度质量流量计,精准控制反应气体流量

  l 配置高精度工艺真空规和集成调压阀,精确控制工艺压力

  l 工艺流程全自动,带有工艺数据库,提供推荐的工艺菜单

  l 机台安全机制由软硬互锁(interlock)两级组成,配有互锁、报警等安全措施

  l 带有干法清洗功能,避免腔室污染,保证工艺稳定性及重复性
【产品配置及指标】

  l 传输平台:                         1套;

  l VCE                  2

  l 主亚博电竞下载腔室:              1~2

  l 去胶腔室:               1~2

  l 冷却腔室:               1

【主要应用】

      应用于8英寸IC制造中的AlW亚博电竞下载工艺。


地址:江苏省邳州市辽河西路8号B1楼三层 电话:+86 516 86291377

邮箱:sales@leuven-instruments.com