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【产品介绍】

利用辉光放电原理将惰性气体分解为惰性气体(比如氩气)离子,惰性气体离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击,以达到亚博电竞下载的作用。惰性气体进入电离区域并形成等离子体,然后由栅极将离子呈束状引出并加速,具有一定能量的离子束进入反应腔,射向样品表面,使材料原子发生溅射,以达到亚博电竞下载目的,属纯物理亚博电竞下载。

【产品特点】

l 由反应腔室、真空获得系统、下电极、离子源、真空检测系统、电气控制系统、控制软件等组成

l 主要用于各种金属以及氧化物等复杂体系的亚博电竞下载等,例如:金属及氧化物:AgAuPtCuMgO等;硅材料:SiO2SiNx、石英等

l 反应腔室采用耐腐蚀不锈钢材质,内外壁电抛光,呈不规则圆柱体,保证工艺性能

l 真空获得系统由耐腐蚀高端干泵、分子泵等组成

l 下电极样品台可连续电动旋转,配备相应控制器,可实现相对离子束法向的倾斜,适用于200mm及以下尺寸样品

l 配置大直径均匀离子源,离子能量覆盖范围广

l 配置高精度工艺真空规和集成调压阀,精确控制工艺压力

l 工艺流程全自动,带有工艺数据库,提供推荐的工艺菜单

l 机台安全机制由软硬互锁(interlock)两级组成,配有互锁、报警等安全措施

l 带有干法清洗功能,避免腔室污染


【产品配置及指标】

l 反应腔室:                      1

l 真空获得系统:               1

l 下电极:                          1

l 离子源:                          1

l 反应气路及质量流量计: Ar1

l 真空检测系统:               1

l 电气控制系统:               1

l 控制软件:                      1

l 选配终点检测系统


【主要应用】

应用于光电子、MEMS、激光器、传感器、太阳电池等领域 

地址:江苏省邳州市辽河西路8号B1楼三层 电话:+86 516 86291377

邮箱:sales@leuven-instruments.com