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【产品介绍】

在反应离子亚博电竞下载过程中,反应气体放电产生大量的等离子体,这些离子与材料表面相互作用,与表面原子产生化学反应,生成可挥发产物,这些挥发产物随真空抽气系统被排走。随着材料表层的“反应-剥离-排放”的周期循环,材料被逐层亚博电竞下载到指定深度。除了表面化学反应外,带能量的离子轰击材料表面也会使表面原子溅射,产生一定的亚博电竞下载作用。所以,反应离子亚博电竞下载包括物理和化学亚博电竞下载两者的结合。

HAASRODE-R200A是实验室通用亚博电竞下载设备,紧凑型外观结构设计,占地面积小,可以用于不同领域的微细加工,是实验室、微纳加工或小型生产的基础设备之一 

【产品特点】

l 由反应腔室、真空获得系统、下电极、射频电源及匹配器、反应气路及质量流量计、真空检测系统、电气控制系统、控制软件等组成

l 能够亚博电竞下载SiSiO2Si3N4Poly-SiAuAgTaInPWLiNbO3、光刻胶、有机膜等材料

l 反应腔室采用耐腐蚀材质,可以保证腔室真空性能

l 真空获得系统由耐腐蚀高端干泵、分子泵等组成

l 下电极具备He背冷和水冷功能,精确控制工艺温度,适用于200mm及以下尺寸样品

l 采用进口射频电源,配有自动匹配器

l 可以根据用户需求灵活配置工艺气体,配有进口高精度质量流量计,精准控制反应气体流量

l 配置高精度工艺真空规和调压阀,精确控制工艺压力

l 工艺流程全自动,带有工艺数据库,提供多种的工艺菜单

l 机台安全机制由软硬互锁(interlock)两级组成,配有互锁、报警等安全措施

l 带有干法清洗功能,避免腔室污染

【产品配置及指标】

l 反应腔室:                       1套;

l 真空获得系统:                1

l 下电极:                           1

l 射频电源及自动匹配器: 1套,频率13.56MHz

l 反应气路及质量流量计: 根据用户需求配置

l 真空检测系统:                1

l 电气控制系统:                1

l 控制软件:                        1

l 选配loadlock自动传输系统


【主要应用】

应用于光电子、MEMS、激光器、传感器、太阳电池等领域

地址:江苏省邳州市辽河西路8号B1楼三层 电话:+86 516 86291377

邮箱:sales@leuven-instruments.com